استخدمت آلة حفر النفق أولًا في عام 1882م ؛ عندما بدأ البريطانيون حفر نفق تحت القنال الإنجليزي. كانت هذه الآلة تحفر بمعدل 12م في خلال 24 ساعة، وقد شقت نحو 2,400م، قبل أن يوقف البريطانيون العمل. تحفر آلات الحفر في الوقت الحاضر بمعدل يزيد على 120م خلال 24 ساعة. يستطيع بعض أضخم الآلات حفر أنفاق مستديرة يبلغ قطرها 11م.
حفرت المملكة العربية السعودية بعض الأنفاق أشهرها تلك التي أقامتها في مكة المكرمة لتسهيل حركة مرور الحجاج من وإلى البيت الحرام. فقد أنشأت نفقين اخترقا جبل أبي قبيس طول كل منهما 595,7م، ونفقين آخرين في جبل السبع بنات طول كل منهما 177,9م. كما أنشئ نفقان في جبل قلعة أجياد كل منهما بطول 359,3م، ونفقين في جبل هندي طول كل منهما 484م.
وفي 27 نوفمبر 2000م، تم افتتاح أكبر نفق للطرقات في العالم بالنرويج، ويقع هذا النفق في الطريق بين مدينتي أوسلو وبيرجين ويبلغ طوله 24,5كم. وكان العمل في هذا النفق قد بدأ عام 1995م.