وفي عام 1906م، سجّل المخترع الأمريكي، لي دي فورست، براءة اختراع صمام ثنائي القطب يشبه كثيرا صمام فليمنج. وأطلق دى فورست على صمامه اسم أوديون (أو الصمام الترميوني) . وفي عام 1907م سجل دي فورست صمامًا ترميونيًا آخر ذا سلك متعرج يصل بين القطبين الآخرين. وكان هذ الصمام أول صمام ثلاثي.
وبدأ الفيزيائي الأمريكي، هارولد أرنولد، عام 1912م في إجراء تجاربه على الصمام الترميوني، فغير في تصميمه الداخلي، وقام بتفريغه من الهواء لإحداث فراغ جزئي داخل الصمام. وفي عام 1914م استخدم فورست الصمام الترميوني مكبِّرا ضمن خط هاتفي بعيد المدى.
ومنذ عام 1912 م شارك العديد من المبتكرين في تطوير الصمام الترميوني ليُستخدم مذبذبا. وكان بين هؤلاء، كل من فورست، ورائد الراديو الأمريكي إدوين أرمسترونج. وخلال الحرب العالمية الأولى (1914 - 1918م) ابتكر والترشوتكي ـ وهو فيزيائي ألماني ـ صماما تجريبيا ذا أربعة عناصر. واستخدم ألبرت و. هل المهندس الأمريكي، هذا الابتكار في تطوير صمام رباعي عملي عام 1924 م. وفي عام 1926 م ابتكر المهندس الهولندي بنجامين هـ. تليجين الصمام الخماسي.
أدى جهد اثنين من المبتكرين، خلال فترة العقد الثالث من القرن العشرين، إلى تطوير جهاز التلفاز الإلكتروني. فقد قام العالم الأمريكي ـ الروسي المولد ـ فلاديمير زوريكين باختراع آلة تصوير تلفازية أطلق عليها اسم إيقونوسكوب، وهي عبارة عن صمام إلكتروني يحول الأشعة الضوئية إلى إشارات كهربائية. كذلك طور المبتكر الأمريكي فيلو تايلور فارنزورت آلة تصوير تلفازية سميت مشرح الصورة.
انصرف الاهتمام عن الصمامات بعد اختراع الترانزستور في الخمسينيات من القرن العشرين، والدوائر المتكاملة في الستينيات. وحلت هذه المكونات الصلبة ـ التي تمر فيها الإشارات الإلكترونية خلال مواد صلبة بدلا من مرورها خلال الفراغ ـ محل الصمامات بصورة كبيرة.
انظر أيضًا: الإلكترونيات.